佛山某半导体集成块集成块制造出厂,晶圆鑫霖环保时候中诞生含硅、氟的异常废污水加工,的设计加工规模较1200吨/日。废污水加工组成成分繁杂,有纳米技术级硅颗粒物及氢佛酸,传统式加工方式 无发未达标。
生产废水的成分及来原
关键环境破坏物
:电解质溶液硅(100-500nm粒级)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
渠道工艺流程
:晶圆刻蚀污污废水 (45%)、CMP电学物理cnc精密机械加工污污废水 (40%)、产品擦拭水(15%)
正确处理操作流程操作流程
去创新使用"普通机械悠长岁月中+特种车辆膜拆分"技巧自驾路线:
钙盐沉淀物
:添加氯化钙彻底清除氟化合物(导出CaF2放置)
斜管沉淀池影响
:结合水解酸化池剂进行胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔经膜挪作他用微细颗粒剂
超滤工作会更系统软件
:脱盐率>98%,回收公司率75%
减压蒸馏析出
:浓水段保持氟化物零排卸
终结视觉效果
氟化物有机废气浓度:<8mg/L(高于国家的一級标准单位10mg/L)
硅含碳量:<5mg/L
污水从而性造纸废水处理率:70%应用在待冷却水塔补湿
危险废弃物减药:蒸发掉残留物量较普通生产技术才能减少60%