某光电器件制造技术厂家因晶圆洗涤工艺产生含氨生活污水,排水量200吨/天。生活污泥中除挥发酚外还有氟化物和微量分析巨资属,操作難度大。场地污染物细则的要求挥发酚<5mg/L,氟化物<3mg/L。
废渣部分及由来
晶圆清理生产废水(核心来历):含氯离子200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工序废水处理方法:含进样器铜、镍等高价属,pH值冲击大
CMP粉磨生产废水:含硅粒状及氧化还原电位
进行处理加工过程注意事项
通过"催化凝固+膜脱离+折点氯化"结构工艺设备:
预治疗
:加药系统CaCl2除氟,操控pH在7.5-8.
反渗透装置系统性
:清理0.01μm之上粒状物
反浸入果汁
:将氧化还原电位浓缩咖啡至1000mg/L上述
折点氯化
:正确调整氯加药量,将氧化还原电位转变为N2
铝离子对调
:得到保障高价属未达标
结果是作用
高锰酸盐指数不稳<3mg/L,氟化物<1mg/L
天价属分子量不超过判断限
水使用率达75%
污泥干化会产生量极大减少40%