该例子出自于华北地区划分开家门头半导体器件制造出企业公司的,包括生產融合用电线路存储芯片。在生產全过程中,晶圆洗涤、蚀刻等制作工艺需施用大批量电子器材级磷酸(纯净度≥85%),在此所产生高酸度含磷工业废水。企业公司的本来的治疗设施设备不可达到逐渐须严格的进行排放要求(TP≤0.5mg/L),继续购买专用汽车更新升级创新。
化工废水含量及特征
污水处理注意源头于这几个关键点:晶圆拆洗污水处理(占总的水量60%)、专用设备喷洗污水处理(30%)并且大理石地面喷洗污水处理(10%)。水环境特殊性体现为:pH值1.5-2.5,总磷有机废气浓度800-1200mg/L,氟铝离子含水量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并具有进样器巨资属(铜、锌等)。
治疗方法具体步骤
顶目主要采用"预处置+耐腐蚀沉定+中高级硫化+进一步净化"的三人组合工序:
调整池
:平均水的质量的水量,下设pH在线平台监测方案装置
特级响应池
:加药系统石粉乳调准pH至8.5-9.0,确立Ca3(PO4)2沉积
二级考试反应迟钝池
:加上PAC和PAM增强斜管沉淀池目的
斜板沉积池
:构建固液提取,活性污泥开启出现脱水平台
Fenton硫化單元
:H2O2与Fe²⁺携手功能光降解巧妙物
多有机溶剂油烟净化器器
:石英石砂+吸附性炭乐队组合滤水,以保证出液澄澈
阳离子对调系统性
:进一歩避开残余物金属件阴离子
终究视觉效果
模式使用稳定的后,留水水的质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟亚铁离子≤5mg/L,每项指标英文不同于《智能电子制作工艺水造成的有害物质相关释放标准的标准的》(GB 39731-2020)。第二年减掉磷相关释放标准的约15吨,活性污泥产生了量较民俗制作工艺较低40%,使用成本费抑制在8.十元/吨水。