该晶圆开发厂为于苏北省市,主要生孩子8厘米半导体芯片晶圆,平均废污水的用水量上涨约800吨。考虑到生孩子具体步骤中适用更多氢佛酸完成晶圆蚀刻,出现废污水面氟化物氧化还原电位到达200-300mg/L,远超国内的直接排放规则(10mg/L接下来)。
生活污水含量及主要来源
废水处理方法核心出自于三部分:
晶圆蚀刻多种工序
:含高溶度氟化物(HF)、氯化铵及多量天价属
生物机器拋光(CMP)工业废水
:含纳米级级硅颗粒物、有机的络合剂
环保设备的洗涤污废水
:含异丙醇、挥发酚等可挥发物
正确处理生产工艺步奏
用到"化工水解+混疑水解+程度净化"三阶段处理体系:
五级整理
:污泥脱水氯化钙和氢腐蚀钙,建立氟化钙沉淀自己,氟化物弄掉率达85%
二次办理
:填加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),弄掉溶液态污染破坏物
三级分销净化处理
:依据多物质过滤皿器和离心分离性炭离心分离,有水出氟化物密度平衡在8mg/L下
主要主设备例如:pH重新调装置、斜管滤渣池、板框带式压滤机(活性污泥缺水)。
终结目的
该项目工作五年期统计资料监测统计资料表示:
氟化物月均密度:7.2mg/L(降至各国标淮)
COD彻底清除率:92%
废水含水分率:≤65%
年收购 氟化钙副软件约150吨,达到物资化巧用