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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆开发厂为于苏北省市,主要生孩子8厘米半导体芯片晶圆,平均废污水的用水量上涨约800吨。考虑到生孩子具体步骤中适用更多氢佛酸完成晶圆蚀刻,出现废污水面氟化物氧化还原电位到达200-300mg/L,远超国内的直接排放规则(10mg/L接下来)。 生活污水含量及主要来源 废水处理方法核心出自于三部分: 晶圆蚀刻多种工序 :含高溶度氟化物(HF)、氯化铵及多量天价属 生物机器拋光(CMP)工业废水 :含纳米级级硅颗粒物、有机的络合剂 环保设备的洗涤污废水 :含异丙醇、挥发酚等可挥发物 正确处理生产工艺步奏 用到"化工水解+混疑水解+程度净化"三阶段处理体系: 五级整理 :污泥脱水氯化钙和氢腐蚀钙,建立氟化钙沉淀自己,氟化物弄掉率达85% 二次办理 :填加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),弄掉溶液态污染破坏物 三级分销净化处理 :依据多物质过滤皿器和离心分离性炭离心分离,有水出氟化物密度平衡在8mg/L下 主要主设备例如:pH重新调装置、斜管滤渣池、板框带式压滤机(活性污泥缺水)。 终结目的 该项目工作五年期统计资料监测统计资料表示: 氟化物月均密度:7.2mg/L(降至各国标淮) COD彻底清除率:92% 废水含水分率:≤65% 年收购 氟化钙副软件约150吨,达到物资化巧用

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